수직 어닐링로 (진공) - 디에스아이 MA-200V
제품 사양
메이커 디에스아이
모델 MA-200V
카테고리 반도체(전공정)
연식 2010年4月
외부 치수 (本体)W1750,D1300,H2150
상태 중고
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 JC0374
기계 사양
전원 (전기로용) 3상 200V50/60Hz 18kVA
(제어용) 단상 100V 50/60Hz 2kVA
공급 가스 H2,N2,HP-GAS
최고사용온도 600℃
상용 사용 온도 300℃~500℃
기판 크기 6 인치 웨이퍼 또는 상당한 기판
처리량 16장(더미 포함 25장)
(전원 BOX) W710, D420, H900
(건식 펌프) W300, D750, H900
※PLC Pass 불명 데이터 빼낼 수 없다
(예비 석영 부품) 튜브, 스테이지, 보트, 열전대 보호 튜브
첨부파일
제품 개요
ASKINDEX 코리아가 취급하는 중고 반도체(전공정) 제품, 디에스아이 MA-200V입니다. 외형 치수는 (本体)W1750,D1300,H2150입니다. 현재 판매 완료된 상품으로, 동일 모델 재입고·유사 재고 문의 및 견적 상담이 가능합니다. 동일 제조사(디에스아이) 및 동일 카테고리(반도체(전공정)) 중고 제품도 함께 비교해 보실 수 있습니다.
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